甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目国际招标公告(1)

甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目国际招标公告(1)

项目编号 : 0762-2441CBNB2001

公布日期 : 2024-01-12

受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年01月12日在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购化学机械抛光机（金属）设备、等离子体增强化学气相沉积设备、高深宽比磁控溅射设备各1套。

资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。

  项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。

2. 招标内容：

招标项目编号：0762-2441CBNB2001

招标项目名称：甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目

项目实施

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2

等离子体增强化学气相沉积设备

1套

借助微波或射频使气体电离，局部形成等离子体，在较低的温度下沉积薄膜。用于沉积SiO₂、SiNx、SiON、P-doped SiO₂、Ge-doped SiO₂、BPSG、FSG等薄膜。

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3

高深宽比磁控溅射设备

1套

使用磁控溅射方式用于深硅刻蚀后的硅通孔孔壁沉积阻挡层（Ti或Ta）及电镀种子层（Cu），防止金属与Si相互扩散的同时作为后续电镀孔内填充金属的导电层。

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3. 投标人资格要求

3.1特定资格条件：

3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；

3.2本项目不接受联合体投标。

3.3未领购招标文件不可以参加投标。

4.

备注：您的权限不能浏览详细内容,非正式会员请联系办理会员入网注册事宜，并缴费成为正式会员后登录网站会员区可查看招标公告、招名方式或下载报名表格等详细内容！为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准。

咨询联系人：李工
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来源：中国电力招标采购网 编辑：cbbiddin