电子束曝光机招标公告
1.招标条件
本招标项目电子束曝光机 该项目已具备招标条件，现对电子束曝光机采购进行公开招标。
2.项目概况与招标范围
2.1项目名称：电子束曝光机
2.2项目编号：ZC26G280511
2.3数量：1台
2.4主要技术参数：
1）探针束流：束流范围需宽广，从10pA到200nA步进可调；
2）最小线宽：系统应能稳定制作≤15 nm的线宽结构；
3）写场与拼接精度：在标准100 μm × 100 μm的单一写场下，多个写场之间的图形拼接精度须控制在≤±50 nm的范围内。
其他内容详见供货要求。
2.5交货期：合同签字盖章生效后1个月内交货。
2.6交货 投标人为企业的，投标文件应提交营业执照复印件；投标人为依法允许经营的事业单位或其他组织的，投标文件应提交法人证书复印件。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标包投标或者未划分标包的同一招标项目投标。
3.2财务要求：投标单位为企业的，应提交投标企业2023年-2025年经会计师事务所或审计机构审计的审计报告及财务报表，包括①资产负债表、②现金流量表、③利润表和④审计报告的复印件等；投标人为军队单位、事业单位无法提供审计报告的，可由上级管理部门批复的决算或内部会计报表代替；投标人为新成立单位的，应提供成立以来的上述报表。
3.3业绩要求：投标人须提供本次所投产品制造商在2023年1月1日至投标截止日期间（以合同签订时间为准）同类项目（电子束曝光机、电子束曝光系统、电子束直写系统、电子束光刻机、电子束光刻系统、电子图形化设备等）的合同业绩。投标人应提供合同关键页复印件（至少包括合同首页、标的及产品品牌型号页、签订时间页、签章页）。
3.4信誉要求：1）投标人为企业的，未列入国家企业信用信息公示系统（网址 shixin/）的“失信被执行人”。提供中国执行信息公开网查询截图，未提供的则以评标现场公开查询结果为准。
3）投标人未被招标人及其上级主管部门列入失信供应商名单，提供未被招标人及其上级主管部门列入失信供应商名单承诺书。
3.5本项目不接受联合体投标。
3.6 本项目接受代理商投标，代理商投标需提供制造商针对本项目的授权函原件。
