序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | SMIF设备 | 1套 | SMIF 作为标准机械接口,在芯片制造生产过程中,用于晶圆盒在高洁净环境中读取晶圆盒信息、晶圆数量信息以及在制程设备中完成传进、传出等操作。可以保证晶圆与洁净室大环境隔离,避免环境颗粒造成的沾污和人为接触造成的划伤。 | 详见技术规格书;★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
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