上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)国际招标公告(1)

对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-11-24在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:上海交通大学采购1套感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)，该设备通过感应耦合等离子体（ICP）方式产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0773-2341SHHW0110招标项目名称:上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)	1套	2.1 反应腔室：2.1.1 由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率。侧壁带加热功能。★2.1.2 样品尺寸：最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片；不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空。其余详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”	预算金额：人民币335.00万元。 最高限价：人民币335.00万元。 交货期：签订合同后11个月内 交付 邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发 5、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2023-12-15 09:30投标文件 评标结果将在必联网和 公示。7、联系方式招标人:上海交通大学地址:上海市闵行区东川路800号

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项目 联系人：李杨  
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