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| 甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目（重招）国际招标公告(*) |
| 公告次数：* |
| 发布日期：****-**-** |
对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****年**月**日在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
*. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购化学机械抛光机（金属）设备、等离子体增强化学气相沉积设备、高深宽比磁控溅射设备各*套。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
*. 招标内容：
招标项目编号：****-****CBNB****
招标项目名称：甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目（重招）
项目实施
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*
等离子体增强化学气相沉积设备
*套
借助微波或射频使气体电离，局部形成等离子体，在较低的温度下沉积薄膜。用于沉积SiO * 、SiNx、SiON、P-doped SiO * 、Ge-doped SiO * 、BPSG、FSG等薄膜。
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*
高深宽比磁控溅射设备
*套
使用磁控溅射方式用于深硅刻蚀后的硅通孔孔壁沉积阻挡层（Ti或Ta）及电镀种子层（Cu），防止金属与Si相互扩散的同时作为后续电镀孔内填充金属的导电层。
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*. 投标人资格要求
*.*特定资格条件：
*.*.*投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
*.*本项目不接受联合体投标。
*.*未领购招标文件不可以参加投标。
*.
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
