序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 椭圆柱面镜 | 1 | 1)*基底表面面形/substrate surface geometry:椭圆柱面/Elliptical 2)*光学表面净尺寸/ Optical surface clear aperture ①长/Length=120mm(±0.5)mm ②宽/Width=20mm(±0.5)mm 3)*基底面形误差/ Substrate surface error ①高度误差/Height error: RMS<1nm; PV <4nm ②子午方向斜率误差/Tangential slope error <50nrad(rms) 弧矢方向斜率误差/Sagittal slope error <1μrad(rms) ③检测空间分辨率(Spatial sampling range): From 1mm to the mirror active length,采用σ=0.577的高斯滤波,Gaussian Filter with σ =0.577 4)*表面粗糙度/surface roughness(镀膜后) ① ≤0.3 nm (rms); 检测空间分辨率(Spatial sampling): 1μm-100μm with 4th order polynomial removal ②≤0.3nm(rms); 检测空间分辨率(Spatial sampling): 100μm -1000μm with 4th order polynomial removal | 预算金额:人民币770,000元 招标限价:人民币716,100元 |
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